Gas laser device

专利摘要:

公开号:WO1987006773A1
申请号:PCT/JP1987/000260
申请日:1987-04-23
公开日:1987-11-05
发明作者:Junichi Fujimoto；Koichi Kajiyama；Yasuo Itakura
申请人:Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho；
IPC主号:H01S3-00

专利说明:
[0001] 明 钿 書 ガス レ ー ザ装置 技 術 分 野
[0002] こ の発明 はガス レ ー ザ装 g に係 り 、 特に放電電極間 への レ ー ザガス の供給に関す る 。 技 術
[0003] ァ ル ゴ ン 、 ク リ プ 卜 ン、 キセ ノ ン等の希ガス を塩素 フ ッ 、 臭素等のノヽ ロ ゲ ン と反応 さ せ る と共に、 放電 に よ る 電子の ェネ ルギー を付与 し > エキ シ マ状態に励 起せ し め る こ と に よ つ て、 レ ー ザ光を発す る よ ό に し た ェキ シ マ レ一ザは、 高効率.、. 高出力の発振力 <可能で あ る と か ら近年、 広 く 開発が進め ら れて き てお り 、 特に、 そ の非 コ ヒ ー レ ン 卜 な性質か ら フ 才 ト リ ソ ダラ フ ィ 一等への利用が注 目 さ れてい る ο '
[0004] ェキ シ マ レ一ザを は じ め と す る ガス レ ー ザ装置 に お い て は 、 例えば第 2 図 に示す如 く 円筒形の チ ャ ン ノく一 1 0 0 内 に貫流フ ァ ン 1 0 1 を Ε設 し 、 該貫流フ ァ ン に よ つ て円周方向 に ガス を流. し 、 .熱交換器 1 0 2 を通 つ た ガス が放 部 1 0 3 に射出せ し め ら れ る よ う に構 成 さ れてい る
[0005] 駆動 に 際 し て は、 放電に よ る ¾子の エネ ルギー を ガ ス に付与す る た め に 1 放電パルス （以下、 1 パルス ） 毎に ガス を吹 き 払 う 必要があ る が、 上記方式で は、 ガ ス を吹 き 払 う 範囲が放電部 1 0 3 の主放電電極 1 0 4 の 両側 に あ る 予備電離 ギ ャ ッ プ 1 0 5 , 1 0 6 間 と な る 。
[0006] 従 っ て、 1 パ ルス あ た り のガス の循環流量が多 く な る た め、 パ ルス の周波数が高 く な る と 、 ガス循環装置 の負担が大 き く な り 、 それに耐え る た め に は装置が大 型化 し て し ま う 等、 い ろ い ろ な不都合が生 じ て い た。
[0007] 本発明 は、 前記実情 に鑑みてな さ れた も ので、 ガス 循環流量を少な く し、 ガス循環装置への負担を低滅す る こ と を 目 的 と す る 。 明 の 開 示
[0008] そ こ で本発 明 で は 、 一方 の 主放電電極の放電部分 —面に小 さ ぃ孔又はス リ ッ ト を あ け、 こ の孔か ら 放電 領域に レ ー ザガス を射出せ し め る よ う に し Τ い る 。
[0009] かか る 構造に よ ήば 、 ガス は一方の主放電電極か ら 他方の主放電電極へ と 直接放電領域に射出せ し め ら れ る た め、 極めて効率良 く 放電が行な われ、 レ ー ザの性 能に影響の な い予備電離ギ ヤ ッ プ部分の ガス循環を行 な わ な く て も すむた め、 ガス循環流量を少な く す る こ と がで き ガス循環装置の負担が軽減 さ れ る 。 更に は、 従来装置で は不可能で あ っ た高辏 り 返 し数ま での発振 が可能 と な る 。 図 面 の 簡 単 な 説 明
[0010] 第 1 図 は、 本発明実施例の エキ シ マ レ ー ザ装置の要 部説明 図、 第 2 図 は、 従来例の レ ー ザ装置を、示す図で あ る O 発明を実施す る た めの最良の形態 以下、 本発明の実施例 につ いて図面を参照 し つつ詳 細 に 説明す る。
[0011] 第 1 図 は、 本発明実施例の エキ シ マ レ ー ザ装置の放 電部の要部の構造を示す図であ る 。
[0012] こ の装置 は、 表面に多数の孔 h の形成 さ れた平板上 の第 1 の主放電電極 （ 力 ソ ー ド ） 1 と 該第 1 の主放電 電極に相対向 し て配設 さ れた チ ヤ ン （ c h a n g ) 型 の第 2 の主放電電極 （ア ノ ー ド） 2 と 、 前記第 1 の主 放電電極 1 の裏面側 に配設 さ れた ガス供給部 3 と ；： ίί 記第 2 の主放電.電極 2 の両側に配設 さ れ.たガ .ス排出部 4 a , 4 b と を具備 し てぉ 、 ガス 供耠部 3 の近傍に 配設 さ れたガス循環装置の貫流フ ァ ン （図示せず） に よ っ てガス供铪部 3 か ら第 1 の主放電電極 1 の孔 h を 介 し て弗化 ク リ プ ト ン （ K r F ) ガスが射出せ し め ら れ こ の第 1 お よ び第 2 の主放電電極間 に形成 さ れる 放 電部 5·で前記ガスが励起 （エキ シ マ ） 状態に さ れ、 基 底状態に落 ち る と き に レ ー ザ光を発す る よ う に し た も ので基底状態に落 ち た エキ シ マ は解離 し 、 ガス排出部 か ら排出せ し め られ再び循環装置 に民 る 0
[0013] 6 は予備放電電極、 g は放電を一様化 し効率を上げ る ため の予備電離ギ ャ ッ プ、 7 予備放電電極に铪電 す る た めの コ ン デ ン サ、 8 は コ ン デ ン サ端子、 9 はァ 一.ス板、 1 0 は主放電を生起する た め の コ ン デ ン サ回 路、 1 1 は こ の コ ン デ ン サ回路 1 0 か ら第 1 の主放電 電極 1 への铪電を行な う た め の給電用 プ レ ー ト であ る かか る 装置で は、 放電部に対 し て極めて効率良 く ガ ス の供耠がな さ れ る 上、 ガス の排出 は、 第 2 の主放電 電極の両側に設け ら れたガス排出部を介 し て レ ー ザ発 振 に悪影響を与え る 部分のガス のみ を吹 き払 う よ う に な さ れ る た め、 設定 し た繰 り 返 し数に必要な ガス流量 を必要最少限度 に低減す る,こ と がで さ る o 産 業 上 の 利 用 可 能 性 以上の よ う に、 本発明の ガス レ ー ザ装置 は、 フ ォ ト リ ソ グラ フ ィ 一 に お け る 露光装置 と し て、 あ る い は、 加工装置 と し て、 更に各種装置の エネ ルギー供給手段 と し て有効で あ り 、 特に、 高繰 り 返 し数での レ ー ザ発 振の必要な ガス レ ー ザ装置 に有効であ る 。 '
[0014] な お、 主放電電極に形成さ れ る ガス供給孔の形状は じ め主放電電極の形状、 お よ びガス排出部等の形状に つ い て は、 実施例 に限定 さ れ る こ と な く 適宜変更可能 で あ る 。

权利要求:
Claims
5
WO 87/06773 一 一 PCT/JP87/00260
請 求 の 範 囲
相対向 し て配設 さ れた第 1 お よ び第 2 の主放電電極 間 に レ ー ザガス を射出せ し め、 レ ー ザ発振を生起せ し め る よ う に し た ガス レ ー ザ装置 に お い て、
前記第 1 の主放電電極の放電面に多数個の ガス供铪 孔を配設 し 、 該ガス供耠孔を介 し て、 前記第 2 の主放 電電極に 向 けて レ ー ザガス を射出す る よ う に し た こ と を特徴 と す る ガス レ ー ザ装置。

类似技术:

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公开号 | 公开日 | 专利标题

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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JPS6344779A|1988-02-25|

引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
1987-11-05| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |

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1987-11-05| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR |

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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